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CERTIFICADO Nº

MINISTERIO DE INDUSTRIA, ENERGÍA Y TURISMO

CENTRO ESPAÑOL DE METROLOGÍA

151567005

CERTIFICADO DE CALIBRACIÓN

FIRMADO por : Emilio Prieto Esteban, Jefe de Área de Longitud (CEM). A fecha : 18/11/2015 16:17:20 El documento consta de un total de 5 folios. Folio 1 de 5 - Código Seguro de Verificación: 37928-11785467

Certificate of Calibration Expedido a: Issued to

INACAL Instituto Nacional de Calidad Dirección de Metrología Av. Canadá 1542 San Borja - Lima 41

De acuerdo con: In accordance with

Las directrices para el uso del logotipo CIPM MRA (Documento CIPM 2006-04)

Instrumento: Instrument

Interferómetro láser

Especificaciones: Features

Sistema interferométrico configurado para medición de distancias.

Fabricante: Manufacturer

Agilent

Marca/modelo: Trademark/Type

Agilent/5519

Nº Serie/Código CEM: Serial number/CEM code

US45220437

Fecha(s) de 6/11/2015 a Calibración: 18/11/2015 Date(s) of calibration

Este Certificado no atribuye al equipo otras características que las indicadas por los datos aquí contenidos. Los resultados se refieren al momento y condiciones en que se efectuaron las mediciones. Se garantiza la trazabilidad a los patrones nacionales. No se permite la reproducción parcial de este documento sin autorización expresa. El presente Certificado es coherente con las Capacidades de Medida y Calibración (CMC) incluidas en el Anexo C del Acuerdo de Reconocimiento Mutuo (ARM) redactado por el Comité Internacional de Pesas y Medidas (CIPM). Según el ARM, todos los Institutos participantes reconocen entre sí la validez de sus certificados de calibración y medida para las magnitudes, campos e incertidumbres especificados en el citado Anexo C (para más detalles véase http://www.bipm.org) This Certificate does not confer to the equipment attributes beyond those shown by the data contained herein. Results refer to the dates and conditions in with measurements were carried out and guarantee traceability to national standards. Partial reproduction of this document is not permitted without written permission. This Certificate is consistent with Calibration and Measurement Capabilities (CMCs) that are included in Appendix C of the Mutual Recognition Arrangement (MRA) drawn up by the International Committee for Weights and Measures (CIPM). Under the MRA, all participating institutes recognize the validity of each other's calibration and measurement certificates for the quantities, ranges and measurement uncertainties specified in Appendix C (for details see http://www.bipm.org)

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CEM-F-0077-01 El Centro Español de Metrología, comprometido con el medio ambiente, mantiene un sistema de Gestión Medioambiental ISO 14001 certificado por AENOR con el número GA-0638/2008

C/ DEL ALFAR Nº 2 28760 TRES CANTOS - MADRID TFNO/FAX : 91 807 47 00 / 91 807 43 19

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CERTIFICADO Nº

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CALIBRACIÓN DE: SISTEMA INTERFEROMÉTRICO LÁSER EN CONFIGURACIÓN DE MEDIDA DE DISTANCIAS.

DESCRIPCIÓN: Sistema interferométrico láser, marca Agilent, compuesto por los siguientes elementos: Denominación Cabezal láser Agilent Sensor ambiente Agilent

Modelo 5519A E1738A

Sensor de temperatura de material

E1737A

Sensor de temperatura de material

E1737A

FIRMADO por : Emilio Prieto Esteban, Jefe de Área de Longitud (CEM). A fecha : 18/11/2015 16:17:20 El documento consta de un total de 5 folios. Folio 2 de 5 - Código Seguro de Verificación: 37928-11785467

USB Hub sensor USB Hub sensor Software

1736A 1735A Agilent Calibrador dinámico 5530

Identificación US45220437 CN08400169 Conectado en canal 4 CN08400204 Conectado en canal 1 CN08400205 Conectado en canal 2 CN08400177 CN08400182 10717F Rev F.04.04

PROCESO DE MEDICIÓN: Se ha realizado una calibración simplificada del sistema interferométrico conforme al procedimiento CEM-PT-0104, que consta de las siguientes fases: a) Determinación de la longitud de onda en vacío La determinación la longitud de onda en vacío del láser y su variación durante varias horas de funcionamiento, se determina mediante comparación con un láser de referencia del CEM. El láser de referencia CEM-2 (Id 1.1-01.01-0080) es un láser de Helio-Neón estabilizado mediante célula de absorción de Iodo, emitiendo en 473,612 THz. Ha sido sintonizado en una de las componentes de la transición 11-5 R(127) del 127I2. La célula de Iodo se halla situada dentro de la cavidad resonante. El diseño cumple las recomendaciones 1983 del Comité Internacional de Pesas y Medidas, revisadas posteriormente en la Mise en pratique (MEP 2003). La frecuencia de emisión del láser de referencia se conoce con una incertidumbre típica de 2,1 partes en 1011, cumpliendo las especificaciones del Comité Internacional de Pesas y Medidas.

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La comparación se ha realizado mediante la técnica de batido de frecuencias. La frecuencia de batido se ha detectado con un fotodiodo de avalancha, amplificándose la señal de salida 40 dB, sobre un ancho de banda de 500 MHz, de forma que pueda ser correctamente observada mediante un analizador de espectros, garantizándose la pureza de la señal. La frecuencia se ha determinado mediante un contador de frecuencia acoplado a un ordenador. Las dos frecuencias polarizadas perpendicularmente emitidas por el láser se han detectado de forma independiente.

b) Determinación de la distancia mediante sistema interferométrico láser y su sensor de condiciones ambientales conectado. La valoración del sistema conjunto se ha realizado comparando los valores obtenidos por el sistema completo autocompensado, operando de forma automática, con los de un sistema interferométrico láser de referencia del CEM, habiendose compensado la longitud de onda en vacío de éste de forma manual, empleando sensores de temperatura y presión trazados a patrones nacionales.

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Dicha valoración se ha realizado bajo dos situaciones: a) con los sensores de condiciones ambientales y de temperatura de material conectados, eligiendo un coeficiente de dilatación del material de 11,7 × 10-6 ºC -1 b) con el sensor de condiciones ambientales conectado y los sensores de material desconectados. Las condiciones ambientales durante la calibración se han mantenido dentro de los límites siguientes: - Temperatura: 20 ºC ± 0,5 ºC

- Humedad: 45 % ± 10 %

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RESULTADOS E INCERTIDUMBRES : a) Determinación de la longitud de onda en vacío.

FIRMADO por : Emilio Prieto Esteban, Jefe de Área de Longitud (CEM). A fecha : 18/11/2015 16:17:20 El documento consta de un total de 5 folios. Folio 4 de 5 - Código Seguro de Verificación: 37928-11785467

Las mediciones se han realizado durante más de 12 horas, a contar desde 10 minutos después de la conexión del láser, habiendo permanecido éste apagado más de 10 horas antes de la conexión.

El máximo rango de variación de frecuencia encontrado durante la calibración ha sido inferior a 2,9 MHz, lo cual supone una estabilidad mejor que 3,5 × 10-9. La longitud de onda media resulta ser de 632,991 372 92 nm ( ± 2,2 fm, k = 2), contribuyendo al error relativo en longitud en 3,0 × 10-8(véase Nota 1).

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b) Verificación del sistema conjunto en configuración de medición de distancias La evaluación del sistema interferométrico configurado para medición de distancias, con todos sus sensores conectados y empleando un coeficiente de dilatación de 11,7 × 10-6 ºC -1, se ha realizado a partir de 3 series de medidas efectuadas cada metro, hasta una distancia máxima de 25 metros, obteniendose un error del sistema en la medida de distancias de -2,9 × 10-6 L, con una incertidumbre expandida, para un factor de cobertura k = 2, dada por la expresión U = 2 ×  9,7 × 10 −7 L 

(

)

2

+ (0,04 µ m )2  . 

Se ha repetido la anterior evaluación (cada metro, hasta un máximo de 25 m) con el sensor de ambiente conectado, pero tomando el valor de la temperatura de material a partir de sensores del laboratorio, sin tener en cuenta sus propios sensores. En este caso, el error obtenido en la medida de distancias ha sido de -8,9 × 10-7 L, con una incertidumbre expandida, para un factor de 2 cobertura k = 2, dada por U = 2 ×  9,7 × 10 −7 L + (0,04 µ m )2  .

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

(

)



Las incertidumbres expandidas finales están dadas para un factor de cobertura k = 2, aproximadamente equivalente a un nivel de confianza del 95 % y resultan de considerar la incertidumbre de los patrones e instrumentos utilizados, el método de calibración, las influencias ambientales y el elemento en calibración. Su cálculo está basado en las recomendaciones de la Guía para la expresión de la incertidumbre de medida, versión española, 3ª ed., 2009, publicada por el CEM. Dicha incertidumbre está de acuerdo con la Capacidad de Medida y Calibración (CMC) declarada por el CEM para este tipo de mediciones, y aceptada internacionalmente en base a los criterios establecidos en el Acuerdo de Reconocimiento Mutuo (ARM) del Comité Internacional de Pesas y Medidas (CIPM)(http://kcdb.bipm.org/appendixC).

NOTAS: 1) El valor nominal de la longitud de onda en vacío para el cabezal láser Agilent 5519, según especificaciones del fabricante, es de 632,991 354 nm 2) La potencia de emisión es de 0,6 mW.

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